苑伟政领衔

微纳系统技术研究中心依托极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）、空天微纳系统教育部重点实验室和陕西省微/纳米系统重点实验室，拟开展的主要研究方向分为两大方面，即基于MEMS技术的微纳传感器研究及基于MEMS传感器的微纳系统集成研究。

具体分项包括：

（1）柔性热膜微传感器及流体壁面剪应力测试仪产业化，该项目是国家重大科学仪器专项成果。柔性热膜微传感器是典型的军民两用新型基础核心元器件，它的突出优点是可以快速精密测温。流体壁面剪应力测试仪是采用新原理、新方法，发挥微机电系统独特优势开发出来的，其可以解决气动/水动实验长期存在的壁面剪应力定点、定量、高分辨率、动态测量的重大难题。

（2）研发MEMS空间光调制芯片、滤波芯片、超分辨率成像阵列芯片及硅基超薄敏感膜片，可实现光学系统的小型化、智能化、无缝集成、功能倍增、片上集成式显微成像、以及在光纤端面的一体化、低成本、高精度组装等功能。采用自主知识产权的MEMS微振镜，开展基于MEMS微振镜的三维相机标定技术、机械手路径规划技术、堆垛/拆垛/无序抓取等物流自动化技术研究，开发出基于MEMS微振镜的激光投影结构光三维相机和激光雷达；

（3）面向物联网和可穿戴电子的微能源技术，研究了蜂窝式发电拓扑结构，突破了能量采集的关键制备技术和设计理念，输出电压达千伏级，功率密度达0.32mW/cm2，是现有报道能量密度最高的能量采集装置之一，研制出分布式微能源PowerMEMS供能系统。网络化生物医学传感器技术研究，包括皮肤生物传感器、血液传感器及生物电信号检测传感器，可实现体征生理病理指标参数的在线、实时、定点、动态、长期监测，为全球老龄化社会时代的人类健康服务。

（4）基于MEMS技术的微型组合导航系统研究，开展多传感器数据融合算法、MEMS惯性测量单元误差标定及误差补偿技术研究，开发基于双核同构CPU和双核异构CPU处理器及扩展卡尔曼滤波最优估计算法的低功耗、小体积、低价格的MEMS微型应用系统，实现被测载体的准确定位、定姿参数测量。基于自主研发的MEMS传感器芯片基础上开展MEMS陀螺、压力传感器、温度传感器、剪应力传感器后端接口电路及封装技术研究，充分利用MEMS传感器体积小、重量轻、成本低的优势，集中力量突破国内目前面临的芯片国产化困局，打破国外技术封锁，满足航空航天、武器装备等领域的高精度MEMS惯性传感器产品。